4月底,水木大学ic装备团队通过光刻机双工作台验收,这对研发光刻机的盛明安等人来?说绝对是个好消息。
双工作台系统验收打破国外双工作台系统核心技术的封锁,意味着距离拥有自主研发的国产光刻机又近了?一步。
林成建握着保温杯进茶水间,说起这事:“以前尼康株式会社社长说我们也?许能造出复杂的光源系统,但?双工作台系统就未必了?。现在啪啪打脸,人团队愣是在经费和技术欠缺的情况下攻克了?。”
雷客:“人家团队花四年时?间研发双工作台,我们花差不多时?间研发光源系统,现在进度落后一截,我们必须得?后来?居上!”
杜颂眼下两大黑眼圈:“我们不差啊。对吧,盛工、小陈总?”
盛明安喝着茶,闻言点头。
陈惊璆靠墙站,看了?眼盛明安,回答杜颂:“光源系统复杂程度不比双工作台,大家也?是一路摸黑摸索过来?,艰难前行至今,我相信今年之前,我们一定能看见光源系统射出的亮眼的曙光。”
第69章山巍[01]13.5nm工艺制程。
盛明安单手撑着脸颊,垂眸望着褐色浓茶泛起的涟漪,思索光源系统中使用的激光器,制造合适光源的激光器结构即前置放大器和主放大器的输出激光和功率,应该怎么配合交替使用?
激光器信号增益与气体?压力成反比的前提下,系统可考虑使用快横流co2技术。
其次是光源优化。
基于粒子群优化算法,公式v^(k+1)=w·v^(k)……
光源与掩膜、光源归一化……
“明安?……盛明安?”
盛明安回神,对上陈惊璆沉静墨黑的眼睛,食指轻轻挠了挠脸颊问:“有事吗?”
陈惊璆无奈:“休息时间也能走神?”
盛明安:“在想激光器结构和光源优化的算法。”
陈惊璆:“休息就是让大脑放空、放轻松,你看林成建他们一到休息室就喝茶八卦,绝口不提科研项目。”
盛明安回头一看才发现?林成建他们都走了。
“他们刚刚在讨论双工作台研发团队,互相攀比,我?觉得压力太大,所以不想听。”
陈惊璆盯着盛明安,几秒后下结论:“撒谎。你恐怕不知道压力两个字怎么写。”
盛明安撑着头直视陈惊璆的目光,眉眼弯弯:“我?真?的有压力,六月提交提前毕业申请,时间上来?不及修补剩下的两年学?分,只能尽快解决光源系统,靠这?个让学?校网开一面,同?意你我?以特?殊人才的身?份补完学?分。”
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