仿真建模观测一小时后,放大雕刻后的晶片,宛如一个个充满未来?感的城市。
杜颂吞咽口水,紧张问:“怎么样?”
雷客屏住呼吸:“仿真实验结果和当?初预料结果一致,如无意外?,方案可行。”
身后传来?一阵激动的欢呼声,不过很快压下来?,众人纷纷看向没开口的盛明安,他才是实验室的主?心骨,他点头了?才算实验成?功!
但不可避免的,他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼,紧张得几乎不能呼吸。
无他,因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果!
无数日?夜的数据优化?、改进,从光源系统到光刻系统,从激光器到复杂的双工作台,从反射镜到晶圆等部件材料,海量的数据和磅礴的公式计算,一千多个日?夜的心血全数系在这一刻!
盛明安盯着右手边的光屏,那是光源优化?仿真实验结果,结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致,说明——
“方案可行。”
第66章星晓[13]红头文件。
方案可行意味着?他们研发高阶光刻机的方向是对的!
不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装出?完整的高阶光刻机系统,包括仿真建模里?,模拟出?来的双工作台、反射镜等?数据都可以应用!
但现?在?不?是高兴的时候,仿真建模只是高阶光刻机制造的第一步,接下?来的设备组装、研制才是关键。
光有设计图纸,没有适合的材料、顶级工匠和研发设备那也是白搭。
雷客:“光源系统设备的研制需要专业顶级的工程师,蓝河科技恐怕人手不?足。后期组装也需要其他实验室的研究进度跟得上。”
闻言,杜颂的笑容僵住:“还有资金和材料,光源系统设备材料不?能用普通钢板,还有精度严格的反射镜怎么办?”
这些问题一早就想到,那时盛明安让他们专心?攻克光源系统,以至于直到现?在?用到了才开始发愁。
林成建等?人不?由担忧,研发资金捉襟见肘,新材料倒是可以找华电科,就是不?知道那些新材料是否符合标准。
就算新材料符合标准,精度至皮米的反射镜目前国内没人造得出?来。
盛明安:“陈惊璆会解决这些问题。”
科研人员只需负责研发工作就行。
“好了,忙去吧。”盛明安挥挥手,赶走身后一群人。
研发人员现?在?很兴奋,根本?赶不?走,围过来说:“盛工,我再看一眼——这么复杂的光源系统真是我设计出?来的?!”、“我觉得自己真tm是个天才!”、“脸还在?吗?”
……
众人叽叽喳喳凑到光屏前陶醉于光源系统的仿真建模,盛明安则悄悄退出?,离开实验室,回到蓝河科技特意拨给他的办公室。